報告題目
高分辨成像穆勒矩陣橢偏儀研制與納米測量應用
報告人
劉世元，華中科技大學
時間
2023年8月12日（星期六）14:30
地點
南嶺校區機械材料館531會議室
摘要
集成電路(IC)、發光二極管(LED)照明、有機發光(OLED)顯示、光伏(PV)太陽能等微電子、光電子器件，代表了國家重大戰略産業。這類器件的一個共同特點，是由超薄層狀納米薄膜或納米結構堆疊而成，每層厚度和結構尺寸都在數百個納米到幾個納米。微區光學常數與納米結構形貌的定量精确表征，對提高這類器件的性能具有十分重要的意義。
橢偏儀是一種利用光的偏振态改變信息來分析樣品的重要科學儀器，可以同時高精度定量獲取待測樣品的光學常數和幾何形貌等信息，已經發展成為納米薄膜和納米結構測量表征強有力的工具。但是，傳統橢偏儀的橫向分辨率完全取決于其探測光斑大小，最小隻能聚焦到約50微米，無法滿足微區測量要求。
我們提出高NA物鏡後焦面掃描的高分辨成像穆勒矩陣橢偏測量新原理，首次将橢偏測量成像分辨率提升至0.5微米量級。本報告将介紹高分辨成像穆勒矩陣橢偏測量原理、關鍵技術與儀器研制，在此基礎上介紹其在納米測量領域的新應用，包括二維材料、一維晶體、有機半導體及器件、IC納米結構等測量表征。
報告人簡介
劉世元，華中科技大學機械學院、光電學院雙聘教授、博士生導師，華中科技大學集成電路測量裝備研究中心主任；國家傑出青年科學基金獲得者，國家科技創新領軍人才；國際測量與儀器委員會委員，中國儀器儀表學會顯微儀器分會副理事長，中國微米納米技術學會微納米測量與儀器分會副理事長。長期從事計算光刻成像理論與應用、納米光學測量技術與儀器、集成電路IC測量檢測技術與裝備等方面的研究。主持國家自然科學基金（7項，包括傑青、重大儀器、重點項目）、首批國家重大科學儀器設備開發專項等國家重大重點項目，獲國際國内發明專利100餘件，發表學術論文200餘篇。研制的儀器、軟件、測量裝備等多項成果已實現成果轉化和産業化，在中芯國際、長江存儲、華星光電、京東方等微電子、光電子龍頭企業獲得批量應用。
